2025-07-02
晶圓接觸角測(cè)量?jī)x主要用于評(píng)估晶圓表面潤(rùn)濕性、涂層均勻性及清潔度等關(guān)鍵參數(shù)，其應(yīng)用場(chǎng)景包括半導(dǎo)體制造、材料研發(fā)、表面處理等領(lǐng)域。
晶圓接觸角測(cè)量?jī)x通過(guò)測(cè)量液滴在晶圓表面形成的接觸角來(lái)評(píng)估表面性質(zhì)。具體步驟如下：
1、液滴形成：利用精密進(jìn)液系統(tǒng)將微量測(cè)試液體（如水、有機(jī)溶劑）精確滴加至晶圓表面，液滴體積通常控制在幾微升至幾十微升之間。
2、光學(xué)成像：高分辨率光學(xué)系統(tǒng)（如顯微鏡、CCD或CMOS相機(jī)）捕捉液滴圖像，確保細(xì)節(jié)清晰可見(jiàn)。
3、圖像分析：通過(guò)圖像處理軟件對(duì)液滴輪廓進(jìn)行預(yù)處理（如灰度化、二值化、邊緣檢測(cè)），并采用圓法、橢圓法或切線法等算法計(jì)算接觸角。
優(yōu)勢(shì)：
1、高精度測(cè)量：角度分辨率可達(dá)±0.01°，重復(fù)性誤差小于±0.5°，能夠準(zhǔn)確捕捉微小接觸角變化。
2、非接觸式檢測(cè)：避免傳統(tǒng)接觸式測(cè)量對(duì)晶圓表面的潛在損傷，尤其適用于高精度半導(dǎo)體制造場(chǎng)景。
3、快速測(cè)量：支持多位置連續(xù)滴液與自動(dòng)化測(cè)量，單次檢測(cè)時(shí)間縮短至秒級(jí)，大幅提升生產(chǎn)效率。
4、多液體兼容性：可測(cè)試水、有機(jī)溶劑、酸堿溶液等多種液體，全面評(píng)估表面潤(rùn)濕性與化學(xué)穩(wěn)定性。
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